怎么建造一個百級芯片無塵車間廠房

文章出處：本站人氣：911 發(fā)表時間：2020-11-19

芯片制造屬于光電半導(dǎo)體行業(yè)，有專門的芯片無塵車間廠房，其生產(chǎn)車間需要達(dá)到百級無塵車間。

制造芯片到底有多難？
制作一顆芯片的生產(chǎn)線是非常復(fù)雜的，大約會涉及到五十個行業(yè)、2000-5000個工序；就拿代工廠來說，需要先將“砂子”提純成硅，再切成晶元，然后加工晶元；晶元加工廠包含前后兩道工藝，前道工藝分幾大模塊——光刻、薄膜、刻蝕、清洗、注入；后道工藝主要是封裝——互聯(lián)、打線、密封；光刻是制造和設(shè)計的紐帶；其中許多工藝都在獨立的工廠進(jìn)行，而使用的設(shè)備也需要專門的設(shè)備廠制造；使用的材料包括幾百種特種氣體、液體、靶材，都需要專門的化工工業(yè)；另外，集成電路的生產(chǎn)都是在超凈無塵車間進(jìn)行的，因此還需要排風(fēng)和空氣凈化等系統(tǒng)。

芯片無塵車間

芯片廠對于生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度非常挑剔，就算是一粒小小的粉塵，粘在芯片上也可能造成短路，進(jìn)而直接影響成品率；粉塵的危害尚且如此，空氣中的化學(xué)污染就更不用說了；因此，芯片生產(chǎn)一般是在無塵室中進(jìn)行，并且生產(chǎn)芯片的無塵車間潔凈度必須達(dá)到百級。

潔凈度百級無塵車間的標(biāo)準(zhǔn)：
大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的塵粒數(shù)為0；
微生物最大允許數(shù)：浮游菌每立方米不能超過5個；
溫度：22℃±2；
濕度：55%±5；
基本需要滿布FFU，做高架地板；
做MAU+FFU+DC系統(tǒng)，還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右；
百級無塵車間若非得用換氣次數(shù)來衡量的話200次/h以上；
百級無塵車間若是以層流風(fēng)速來說的話>0.35 m/s；
百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。